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真空擴散泵的操作規程

       1、檢查真空系統各部分,熟悉系統的氣路結構,了解真空系統各元件的作用以及操作部分的電路聯接。
       2、關閉放氣閥門,啟動機械泵,對系統進行抽氣,并用火花檢漏器對系統各部分進行檢漏。如系全金屬系統,則可關閉閥門,用真空計讀數記下P-t曲線(作靜態升壓試驗)。如壓強隨著時間呈直線上升,可斷定系統有漏氣源,應進行檢漏。
       3、當系統真空度達到油擴散泵的前置壓強(5×10-2托)后,啟動擴散泵,使加熱電流逐漸升到額定值。在啟動擴散泵前,要先開冷卻水。
       4、擴散泵正常工作后,用火花檢漏器(或熱偶計)判斷量測系統的真空度。到10-3托以上(熱偶計近滿偏或95格以上)才能使用電離真空計。使用時先對規管除氣,后測量真空度。
       5、對系統進行烘烤去氣處理。對玻璃系統而言,硬玻璃烘烤溫度為400℃~450℃ ,軟玻璃為350℃~400℃ 。去氣時間視具體要求而定,一般1~2小時。去氣完后,真空度仍達不到要求,應使用電離計記P-t曲線,以判斷是否漏氣。亦可用丙酮、酒精等涂抹可疑處,看表針的擺動以發現漏孔。若為去氣不良,應進一步烘烤,加長時間去氣。新系統一般要抽較長時間才能達到預期的真空度。真空度老上不去,則要考慮系統設計、安裝是否合理,有無死空間,放氣源多否,維修時是否帶進了臟物,被抽容器是否清潔等其它因素。
2019/05/11 13:52:10 2940 次

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