真空腔體是保持里面為真空狀態的容器，它的制作要考慮容積、材質和形狀。不銹鋼是目前真空系統的主要結構材料。其中300系列不銹鋼是含Cr10%—20%的低碳鋼，具有優良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導電率和導熱率低、能夠在-270—900℃工作等優點，在高真空系統中應用廣。
焊接是真空腔體制作中重要的環節之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發生化學反應從而影響焊接質量，通常采用氬弧焊來完成焊接。氬弧焊是指在焊接過程中向周圍噴灑保護氣體氬氣，以免熔化后的高溫金屬發生氧化反應。
它的氬弧焊接，原則上采用內焊，即焊接面是在真空一側，以免存在死角而發生虛漏。
真空腔體的內壁表面吸附大量的氣體分子，成為影響真空度的放氣源。為實現真空，要對腔體進行150—250℃的高溫烘烤，以促使材料表面和內部的氣體盡快放出。烘烤方式有在腔體外壁纏繞加熱帶，它在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳篷中。比較經濟簡單的烘烤方法是使用加熱帶，加熱帶的外面再用鋁箔包裹，以免熱量散失的同時也可使腔體均勻受熱。
