有些真空工藝會產生大量的灰塵,如果灰塵隨被抽氣體進入油封真空泵內混在泵油中,會像研磨劑一樣加速泵腔內零件的磨損,對泵轉子和泵腔造成磨損和破壞,堵塞油路或使泵無法運行,如果灰塵進入真空閥門則會使密封失效而泄漏,因此塵埃的規避和過濾己成為增加
真空腔體的使用壽命,增加生產率的關鍵問題,在有塵埃的真空系統中,要采用塵埃過濾器。
在灰塵量較少時,可以由泵油過濾系統濾除,但灰塵量較大時,為不讓真空泵損壞,讓真空泵的正常運轉要使用除塵器。常用塵埃過濾方式有以下幾種:
?。?)旋風離心式。進氣口與筒體成偏心放置,塵埃隨氣流旋轉,因離心力作用而沉降在過濾器的底部。
?。?)油淋式。在油泵的作用下,使真空泵油從除塵器的頂部高速噴下,油霧與上升的氣流相互作用吸附,混在氣流中的塵埃與油一起沉降至油池。
(3)油濕介質粘附式。塵埃在氣流作用下碰撞用真空泵油浸濕的介質表面而被粘附,常用介質有環狀或顆粒狀陶瓷、金屬絲條等。
?。?)介質阻擋式。利用介質的機械阻擋作用過濾塵埃,常用介質有金屬絲網、天然或合成纖維、多孔金屬、多孔塑料等。
?。?)靜電吸附式。利用真空中氣輝光放電形成等離子體,塵埃在等離子體中附著電荷,在電場力作用下被驅向電極表面而被捕集。
?。?)混合式。將以上幾種過濾形式進行組合形成混合的過濾形式。