真空擴(kuò)散泵機(jī)組的特點(diǎn)是抽氣能力大，抽速?gòu)?90L/S至49000L/S范圍內(nèi)可供選擇；并可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定連續(xù)工作。擴(kuò)散泵系列真空機(jī)組被應(yīng)用在電子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物、原子能、宇宙探測(cè)等高科技領(lǐng)域。如各真空爐、真空鍍膜設(shè)備、真空冷凍干燥設(shè)備等。典型真空機(jī)組是用氣動(dòng)閥門(mén)程序控制。
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